ASP 分析设备 ASP 分析系统用于检测气体产生过程以满足严格的质量控制。 ESG(电气专用气体)分析系统 ESG(电气专用气体)被用于半导体制造中的稀释、清洗、刻蚀、掺杂。(SiH4, DCS, NH3, PH3, NF3, SF6, F2, HBr, HCl, Cl2, etc.) 生产范围 ASP分析系统
优势 可以根据客户的个体需求进行设计、提供产品与相关的服务。